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【資料圖】

天眼查APP顯示，近日，沈陽芯源微電子設備股份有限公司申請的“一種晶圓彩色圖像一致性評價與缺陷檢測方法”專利公布。 摘要顯示，本發明公開一種晶圓彩色圖像一致性評價與缺陷檢測方法。首先從圖像質量、物理屬性、像素差分等三個維度對晶圓彩色圖像的一致性進行評價，據此調整與監控機臺硬件，保證晶圓彩色圖像的一致性與高質量，檢測時基于晶粒最小重復單元來將待測晶圓圖像與標準模板進行差分，再通過多通道的加權整合來最終確定缺陷區域。該方法可提高缺陷檢測效果的準確性與不同機臺結果的一致性，且實現與計算過程簡單易行，可進一步滿足半導體行業對自動光學檢測的需求。